




제품 특장
VM시리즈는 오랜 당사 진공 기술을 바탕으로, 1992년에 제품화한 초대 모델 입니다.
진공 중의 전극 중심부에 센터 핀(접동 가이드부품)이 있어, 획기적인 진공 접동을 실현하고 있습니다. 벨로스에는 고강도의 스테인레스재로 전도율의 뛰어난 구리를 코팅한 이중 구조의 벨로스를 채용하고 있습니다.
・구리 도금 스테인레스에 의해, 저손실/고강도를 실현
・2조 나사를 채용하는 것으로, 정밀 탐색을 구현
취급상, 운용상의 주의점, 또 특성에 관한 설명에 관해서는 카탈로그를 참조해 주십시오.
- 저손실/고강도 벨로스
- 고강도/특수 나사 드라이브
- 센터 핀 위치 내진 구조
사양 일람
제품 상세에 관해서는, 각 형식에 첨부되어있는 PDF(데이터 시트)를 참조해 주십시오.
형식 | 정전용량(pF) | 전압(kVp) | 최대허용전류※1 (Arms) |
외형치수 (mm) |
질량 (kg) |
||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Min. | Max. | RF 동작 |
Peak 시험 |
13.56 MHz |
40 MHz |
60 MHz |
|||
SCV-150.5 | 10 | 50 | 9 | 15 | 27 | 76 | 68 | L140 × φ60.4 | 0.95 |
SCV-151 | 10 | 100 | 9 | 15 | 54 | 76 | 68 | ||
SCV-152 | 12 | 200 | 9 | 15 | 100 | 76 | 68 | ||
SCV-155G | 25 | 500 | 9 | 15 | 90 | 68 | 62 |
형식 | 정전용량(pF) | 전압(kVp) | 최대허용전류※1 (Arms) |
외형치수 (mm) |
질량 (kg) |
||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Min. | Max. | RF 동작 |
Peak 시험 |
13.56 MHz |
40 MHz |
60 MHz |
|||
SCV-152.5 | 30 | 250 | 9 | 15 | 100 | 76 | 68 | L140 × φ62.4 | 0.94 |
SCV-7.55 | 30 | 500 | 4.5 | 7.5 | 100 | 76 | 68 | ||
SCV-55 | 30 | 500 | 3 | 5 | 100 | 76 | 68 |
형식 | 정전용량(pF) | 전압(kVp) | 최대허용전류※1 (Arms) |
외형치수 (mm) |
질량 (kg) |
||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Min. | Max. | RF 동작 |
Peak 시험 |
13.56 MHz |
40 MHz |
60 MHz |
|||
SCV-155M | 50 | 500 | 9 | 15 | 100 | 76 | 68 | L140 × φ73 | 1.4 |
SCV-205G | 50 | 500 | 12 | 20 | 90 | 68 | 62 | ||
SCV-510M | 50 | 1000 | 3 | 5 | 100 | 76 | 68 | ||
SCV-1010G | 50 | 1000 | 6 | 10 | 90 | 68 | 62 | ||
SCV-514M | 90 | 1400 | 3 | 5 | 100 | 76 | 68 | ||
SCV-1014G | 90 | 1400 | 6 | 10 | 90 | 68 | 62 |
형식 | 정전용량(pF) | 전압(kVp) | 최대허용전류※1 (Arms) |
외형치수 (mm) |
질량 (kg) |
||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Min. | Max. | RF 동작 |
Peak 시험 |
13.56 MHz |
40 MHz |
60 MHz |
|||
SCV-204 | 80 | 450 | 12 | 20 | 100 | 76 | 68 | L140 × φ89 | 1.9 |
SCV-1010 | 80 | 1000 | 6 | 10 | 100 | 76 | 68 | ||
SCV-520M | 85 | 2000 | 3 | 5 | 100 | 76 | 68 |
형식 | 정전용량(pF) | 전압(kVp) | 최대허용전류※1 (Arms) |
외형치수 (mm) |
질량 (kg) |
||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Min. | Max. | RF 동작 |
Peak 시험 |
13.56 MHz |
40 MHz |
60 MHz |
|||
SCV-201.7G | 45 | 170 | 12 | 20 | 90 | 68 | 62 | L106 × φ63 | 0.8 |
SCV-104G | 60 | 450 | 6 | 10 | 90 | 68 | 62 |
형식 | 정전용량(pF) | 전압(kVp) | 최대허용전류※1 (Arms) |
외형치수 (mm) |
질량 (kg) |
||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Min. | Max. | RF 동작 |
Peak 시험 |
13.56 MHz |
40 MHz |
60 MHz |
|||
SCV-300.2G | 6 | 20 | 18 | 30 | 21 | 64 | 62 | L100 × φ60.4 | 0.8 |
SCV-250.3G | 6 | 30 | 15 | 25 | 27 | 68 | 62 | ||
SCV-250.8G | 10 | 80 | 15 | 25 | 72 | 68 | 62 |
- ※1최대허용전류치는, 30W열전도 냉각시의 값 입니다.
옵션
요망에 맞춘 최적의 옵션을 제안 드립니다.
- 축 베어링
- 공진 가변 콘덴서와 모터와의 동심에 의한 정전용량 가변용 나사에의 측면 하중을 저감합니다.

- 수냉 플랜지
- 공진 콘센서의 냉각 능력을 향상시킵니다. 공진 가변 콘덴서의 가동측 및 고정측에 취부 냉각 플랜지를 사업 영역으로 하고 있습니다.
- 이 제품에 관한 문의
-
- [Industrial products]