공진 가변 콘덴서의 정전용량 제어에 필요한 제어계를 전부 모듈화 하였습니다.
간단한 시리얼 커맨드만으로, 복잡한 임피던스 정합 제어를 실현.
반도체 제조 장치의 고주파 플라즈마 정합 회로나, RF전원 회로에의 적용에 최적 입니다.
・공진가변콘덴서의 정전용량을 시리얼 통신(RS485)로부터 간단하게 설정 가능. 모터부로 제공하는 것으로부터, 모터부의 개발/설계 시간을 단축할 수 있습니다.
・광학식 엔코더를 채용하고, 스테핑 전동기 동작을 상시 감시. 뜻밖의 모터 탈조를 검출하고 자동적으로 회복할 수 있습니다. 모터와 진공 가변 콘덴서는 고절연(절연 내압 10kVp)의 전용 커플링을 사용하여 연결됩니다.
・RS485로 캐스케이드 접속 가능. 복수의 모터부 진공 다변 콘덴서를 상위계 컨트롤러에서부터 단일의 시리얼 라인에서 제어 가능합니다.

• 간단도입
• 고신뢰동작
• 캐스케이드 접속 가능